SMC 高純度工藝氣體用 AP
?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
?可作為氣體的切斷閥使用。
?接觸氣體部分無彈簧，驅(qū)動部也使用膜片隔離，因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產(chǎn)生。
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?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
?可作為氣體的切斷閥使用。
?接觸氣體部分無彈簧，驅(qū)動部也使用膜片隔離，因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產(chǎn)生。
